ASTM F 1621-1995 测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程

作者:标准资料网 时间:2024-05-25 12:16:36  浏览:8456   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticeforDeterminingthePositionalAccuracyCapacibilitiesofaScanningSurfaceInspectionSystem(SSIS)
【原文标准名称】:测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程
【标准号】:ASTMF1621-1995
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:扫描;表面检验;半导体材料
【英文主题词】:semiconductormaterials;scanning;surfaceinspections
【摘要】:
【中国标准分类号】:N47
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语