GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
作者:标准资料网 时间:2024-05-15 11:07:05 浏览:8364
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基本信息
标准名称: | 微机电系统(MEMS)技术 术语 |
英文名称: | Micro-electromechanical system technology—Terms |
中标分类: | 电子元器件与信息技术 >> 微电路 >> 微电路综合 |
ICS分类: | 电子学 >> 集成电路、微电子学 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2011-01-10 |
实施日期: | 2011-10-01 |
首发日期: | 2011-01-10 |
作废日期: | |
主管部门: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
提出单位: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: | 中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学 |
起草人: | 丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2011-10-01 |
页数: | 40页 |
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 综合性术语 1 3.2 科学与工程术语 2 3.3 与材料相关的术语 3 3.4 与设计相关的术语 4 3.5 与加工工艺相关的术语 7 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27
引用标准
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GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)
所属分类: 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
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